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压力传感器结构及特点

时间:2022-10-13 14:02:54来源:机器人在线

导语:​在传感器行业中,压力传感器是应用最广泛的传感器。

  在当今快节奏的人类社会中,由于科学和工程技术的快速发展,对不同尺寸的经典物理量在不同工业技术应用中的应用要求进行了监控。压阻式压力传感器由单晶硅的压阻效应组成。以单晶硅芯片太阳集团网址首页为弹性元件,在单晶硅膜上采用集成电路工艺,沿单晶硅的特定方向扩散一组等效电阻,将电阻连接成电桥,将单晶硅片放入传感器腔中。当压力变化时,单晶硅产生应变,使直接扩散到其上的应变电阻与测量压力成正比,然后桥式电路获得相应的电压输出信号。压力传感器结构及特点?

  一、压力传感器结构

太阳集团网址首页  压阻式压力传感器采用集成工艺将电阻片集成到单晶硅薄膜上,制成硅压阻芯片,并将芯片固定在外壳中引出电极线。压阻式压力传感器又称固体压力传感器,与粘贴式应变计不同。它需要通过弹性传感元件间接感受外力,但通过硅膜直接感受被测压力。

  测量中的所谓“压力”是物理学中的“压力”,它是反映物质状态的一个重要参数。在压力测量中,有表面压力、绝对压力(绝对压力)、负压和真空度。工业上使用的压力指示值大多是表面压力,即绝对压力和大气压力之间的差值。因此,绝对压力是表面压力和大气压力的总和。如果测量压力低于大气压力,则称为负压或真空度。

  在工作原理上,压力测量传感器分为压阻式压力传感器、压电式压力传感器,压磁式压力传感器和电容式压力传感器以及霍尔压力表等。

  压阻式传感器是利用半导体材料的压阻效应,在半导体材料衬底上扩散电阻而制成的器件。基板可以直接用作测量传感器元件,扩散电阻连接到基板中的电桥中。

  当基板因外力而变形时,电阻值会发生变化,电桥也会产生相应的不平衡输出。用作压阻传感器的衬底(或薄膜)主要是硅芯片和锗芯片。以硅芯片为敏感材料的硅压阻传感器越来越受到人们的关注,特别是用于测量压力和速度的固态压阻传感器。

太阳集团网址首页  二、压力传感器特点

太阳集团网址首页  1.高频响应,f0高达1.5M;

  2.体积小、功耗低;

  3.灵敏度高,准确度好,可测量0.1%的准确度;

  4.无活动部件(敏感部件与转换部件集成)。

  压力传感器结构及特点?对于传感器企业来说,机遇与挑战并存,更多的中国传感器企业正朝着正确的方向前进。随着工业物联网智能制造的进步,我相信会出现更多优秀的国产传感器企业和产品。


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